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簡要描述:國產(chǎn)手動臺階儀 JS10B,穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量,采用金剛石探針,無畸變的觀察樣品區(qū),實(shí)時觀察掃描區(qū)域,突破三個核心技術(shù),國內(nèi)研發(fā)生產(chǎn),便于售后服務(wù)?!局С侄ㄖ婆_階儀】
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產(chǎn)品描述
國產(chǎn)手動臺階儀JS10B,擁有高精度、高分解能力,搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu),提供穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量。JS10B提供一個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像,可無畸變的觀察樣品區(qū),方便定位特征區(qū)域,同時探針掃描時可實(shí)時觀察掃描區(qū)域。
手動臺階儀 JS10B關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)
裝載晶圓尺寸:150mm\200mm\300mm
臺階高度重復(fù)性 :≤0.5nm(1um標(biāo)準(zhǔn)塊重復(fù)掃描30次)
臺階測量高度:≤80um
樣品平臺行程:可實(shí)現(xiàn)水平(X/Y),旋轉(zhuǎn)(RZ)電動控制
單次掃描距離:≤55mm
探針壓力:0.5~50mg
探針直徑:≥2um 探針1個,≤1um 探針1個
• JS10B技術(shù)參數(shù)
• 配套軟件介紹
• 應(yīng)用案例
測金屬片
測電極
測光刻膠
測膜厚
測標(biāo)樣
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