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簡要描述:體積小、結(jié)構(gòu)緊湊超高真空微型光柵尺SMG26特點,體積小,結(jié)構(gòu)緊湊,適用于超高真空使用,良好的耐高溫性,最高可達(dá)100℃,SMG26系列光柵的柵距為256μm,下表為不同細(xì)分倍數(shù)下的允許速度值,精度高,絕對精度3μm(20℃)
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產(chǎn)品描述
超高真空微型光柵尺SMG26特點,體積小,結(jié)構(gòu)緊湊,適用于超高真空使用,良好的耐高溫性,最高可達(dá)100℃,SMG26系列光柵的柵距為256μm,下表為不同細(xì)分倍數(shù)下的允許速度值,精度高,絕對精度±3μm(20℃),采用玻璃柵尺,膨脹系數(shù)小,讀數(shù)穩(wěn)定性良好。分辨率高,配合TF15細(xì)分接頭,讀數(shù)分辨率可達(dá)1nm。安裝容許公差大(容許誤差±0.1mm)。
○體積小,結(jié)構(gòu)緊湊。
○適用于超高真空使用。
○良好的耐高溫性,最高可達(dá)100°C。
○精度高,絕對精度±um(20°C)
○采用玻璃柵尺,膨脹系數(shù)小,讀數(shù)穩(wěn)定性良好。
○分辨率高,配合TF15細(xì)分接頭,讀數(shù)分辨率可達(dá)1nm,
○安裝容許公差大(容許誤差±0.1mm)
TF細(xì)分盒信號速度介紹
SMG26系列光柵的柵距為256um,下表為不同細(xì)分倍數(shù)下的允許速度值。
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